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UTILITY 工程

UTG Slimming Business

UTILITY BASIC DESIGN CONCEPT


洁净室 UTILITY(UHP SYSTEM)的特点

  • 在半导体工艺上与产品直接或间接接触
  • 影响生产收益率
  • UHP (Ultra High Purity) SYSTEM : Gases, Chemical, UPW
UTILITY CONSUMPTION

  • BASIC设计的基本DATA
  • 同时反映使用率、安全率

DELIVERY SYSTEM



UHP PIPING INSTALLATION

一次都没有正确施工的Clean Room及UHP System在修改上存在很多限制,
内在会存在持续反复的痼疾。

施工案例


Cda /N2 piping

Gas/Exhaust piping

CDA System Install-1

H-, P-Vac & PCW

House Vac System

Process Vac System

PCW Tank

PCW System

CCSS System

H-Vacuum Adapter Hole-1

PCW Piping

PCW & DI Piping

Gas cabinet Install

Gas Cabinet Piping

Gas Cabinet & GMP Piping

Gas Duct Piping

GMB Box

GMB Piping

GMB Install for P-5000 System

DI Water System

UPW-CVD Line

UPW-PVD Line

Pipes (PVD Pump Position)

Pipe Line Taps

顾客咨询

CLEAN ROOM 工程
朱卫兵/部长
UTILITY 工程
朴顺钟/总监
PFA 材料
钱丽娟/部长