UTILITY 공사
UTG Slimming Business
UTILITY BASIC DESIGN CONCEPT
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크린룸 UTILITY (UHP SYSTEM) 의 특징
- 반도체 공정상에서 제품과 직,간접적으로 접촉
- 생산 수율에 영향
- UHP (Ultra High Purity) SYSTEM : Gases, Chemical, UPW
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UTILITY CONSUMPTION
- BASIC 설계의 기본 DATA
- 동시사용율, 안전율 반영
DELIVERY SYSTEM
UHP PIPING INSTALLATION
한번 바르게 시공하지 않은 Clean Room 및 UHP System은 수정에 많은 제약이 있고,
지속적이고 반복되는 고질적 문제를 내재하게 된다.
시공사례

Cda /N2 piping

Gas/Exhaust piping

CDA System Install-1

H-, P-Vac & PCW

House Vac System

Process Vac System

PCW Tank

PCW System

CCSS System

H-Vacuum Adapter Hole-1

PCW Piping

PCW & DI Piping

Gas cabinet Install

Gas Cabinet Piping

Gas Cabinet & GMP Piping

Gas Duct Piping

GMB Box

GMB Piping

GMB Install for P-5000 System

DI Water System

UPW-CVD Line

UPW-PVD Line

Pipes (PVD Pump Position)

Pipe Line Taps
고객문의
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CLEAN ROOM 공사

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주웨빙/부장
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UTILITY 공사

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박순종/총감
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PFA 자재

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첸리젠/부장