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UTILITY 공사

UTG Slimming Business

UTILITY BASIC DESIGN CONCEPT


크린룸 UTILITY (UHP SYSTEM) 의 특징

  • 반도체 공정상에서 제품과 직,간접적으로 접촉
  • 생산 수율에 영향
  • UHP (Ultra High Purity) SYSTEM : Gases, Chemical, UPW
UTILITY CONSUMPTION

  • BASIC 설계의 기본 DATA
  • 동시사용율, 안전율 반영

DELIVERY SYSTEM



UHP PIPING INSTALLATION

한번 바르게 시공하지 않은 Clean Room 및 UHP System은 수정에 많은 제약이 있고,
지속적이고 반복되는 고질적 문제를 내재하게 된다.

시공사례


Cda /N2 piping

Gas/Exhaust piping

CDA System Install-1

H-, P-Vac & PCW

House Vac System

Process Vac System

PCW Tank

PCW System

CCSS System

H-Vacuum Adapter Hole-1

PCW Piping

PCW & DI Piping

Gas cabinet Install

Gas Cabinet Piping

Gas Cabinet & GMP Piping

Gas Duct Piping

GMB Box

GMB Piping

GMB Install for P-5000 System

DI Water System

UPW-CVD Line

UPW-PVD Line

Pipes (PVD Pump Position)

Pipe Line Taps

고객문의

CLEAN ROOM 공사
주웨빙/부장
UTILITY 공사
박순종/총감
PFA 자재
첸리젠/부장